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      電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>模擬數字論文>基于波紋銀振膜的珀羅傳聲器詳細論文免費下載

      基于波紋銀振膜的珀羅傳聲器詳細論文免費下載

      2019-08-07 | pdf | 3.57 MB | 次下載 | 1積分

      資料介紹

      　　提出了一種由非本征法布里-珀羅干涉結構構成的波紋銀膜光纖傳聲器。在波紋的作用下，通過釋放膜片的初始應力，提高了傳感器的靈敏度。提出了一種簡單的“灰度曝光”方法來制作波紋。實驗結果表明，制備的波紋膜（CD）的機械靈敏度為52nm/pa，是相同參數下平面膜的兩倍。并對所制備的傳聲器的其他特性進行了詳細的測試。該方法具有靈敏度高、簡單、成本低等優點，有望在弱聲傳感領域得到應用。

      　　光纖傳聲器（OFM）通常采用基于振膜的非本征法布里-珀羅干涉測量（EFPI）結構，以其分辨率高、重量輕、體積小等優點，在聲學測量中受到越來越多的關注。］當受到入射聲作用時，振膜會振動并調節OFM F-P腔的長度。作為OFM的基石，需要高機械和光學質量的振動膜來確定傳感器的性能。到目前為止，已經使用了幾種彈性材料來感應中的壓力。硅是Nd硅是最早采用的振動膜材料，但用常規的微機械加工方法很難制備厚度小于1μm的大薄膜，近年來對二維層狀材料進行了研究。

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