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      電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>傳感器技術論文>低流速氣體流量傳感器的研制

      低流速氣體流量傳感器的研制

      2009-03-05 | rar | 333 | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      提出一種基于溫差測量原理測量低流速氣體流量的方法并進行了實驗驗證$ 傳感器由一對集成溫度傳感器芯片與片狀鉑電阻熱源構成，專門設計的片上恒流供電電路保證了熱源加熱功率的穩定對該流量傳感器樣品進行測試，結果表明它能夠提供與方根流速近似成線性關系的輸出在低于. 的低流速下，該傳感器具有數十至數百毫伏的輸出信號幅度，其測量下限可低至.這與理論分析結果基本相符$該流量傳感器在低流速條件下具有高靈敏度和較高的穩定性.
      關鍵詞：低速流體；流量傳感器；集成電路；溫度傳感器
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