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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>傳感器技術(shù)論文>石英微機械慣性傳感器的加工技術(shù)

      石英微機械慣性傳感器的加工技術(shù)

      2009-06-23 | rar | 118 | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      本文討論了石英微機械陀螺的基本結(jié)構(gòu)和工作原理，敘述了用于石英加工的化學(xué)各向異性刻蝕機理，給出了石英音叉傳感器的加工方法，提供了我們研制的石英微機械陀螺的試驗結(jié)果。
      關(guān)鍵詞：石英；微機械陀螺；各向異性刻蝕
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