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      電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>傳感器技術論文>磁控濺射WO3薄膜特性研究

      磁控濺射WO3薄膜特性研究

      2009-06-30 | rar | 167 | 次下載 | 2積分

      資料介紹

      用磁控濺射法制成WO3 薄膜,通過改變成膜的濺射參數來改變WO3 薄膜的性能. 利用XRD
      分析了樣品的粒徑大小,研究了成膜工藝參數對氣敏元件性能的影響. 結果表明,薄膜中WO3 晶粒的平均尺寸為17 nm ,該傳感器對NOx 氣體有非常好的靈敏度和選擇性,對體積分數為1 ×10 - 5的NOx 氣體靈敏度高于50 倍,而對其他干擾氣體的靈敏度小于2 倍.
      關鍵詞:磁控濺射;氧化鎢;氧化氮;薄膜
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