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      電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>傳感器技術論文>MISiC肖特基二極管式氣體傳感器響應特性分析

      MISiC肖特基二極管式氣體傳感器響應特性分析

      2009-07-13 | rar | 278 | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      分析了金屬2絕緣體2SiC (MISiC) 結構肖特基二極管(SBD) 氣體傳感器敏感機理,通過將熱電子發射理論與隧道理論結合,建立了器件物理模型. 模擬結果表明,響應特性與金屬電極類型、絕緣層厚度、氣體吸收效率和溫度有關. 模擬結果與實驗符合較好. 通過模擬,得到MISiC 結構最佳絕緣層(SiO2) 厚度應為1 nm 左右.
      關　鍵　詞: MISiC 氣體傳感器; 肖特基二極管; 模擬

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