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      電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>傳感器技術論文>光激光拾自諧振傳感器的光學特性及優化設計

      光激光拾自諧振傳感器的光學特性及優化設計

      2009-07-15 | rar | 336 | 次下載 | 2積分

      資料介紹

      建立了光激、光拾自諧振多晶硅微機械傳感器的多層膜系模型, 利用該模型對傳感器的光學特性進行了理論分析, 并對傳感器諧振微梁厚度和空腔高度進行了優化1
      關鍵詞　自諧振; 菲涅耳系數矩陣; 光電激勵
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