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      電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>傳感器技術論文>電熱激勵微諧振器及諧振式傳感器

      電熱激勵微諧振器及諧振式傳感器

      2009-07-18 | rar | 670 | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      硅微諧振式傳感器具有靈敏度和分辨率高、準數字信號輸出、抗干擾能力強的優點，在
      精確測量領域具有獨特的優勢。其中，電熱激勵& 壓敏電阻拾振的微諧振器與工業’( 技術兼容，可將敏感元件與信號調理電路集成在一塊芯片上構成功能強大的智能傳感器。著重論述了電熱激勵& 壓敏電阻拾振的硅微諧振器的幾種典型結構及其制造技術，并在此基礎上闡述了以該諧振
      器為敏感元件開發的質量流量、氣體、壓力、溫度和接近傳感器等多種諧振式傳感器。
      關鍵詞：電熱激勵；壓敏電阻拾振；微諧振器；諧振式傳感器
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