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      電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>測試測量論文>半導體芯片電路線寬顯微測量精度分析

      半導體芯片電路線寬顯微測量精度分析

      2009-09-09 | rar | 132 | 次下載 | 2積分

      資料介紹

      ?????????在顯微圖像的尺寸測量中，由于各種因素的影響，測量結果不可避免地存在著誤差。為了充分認識并進而減小這些誤差，提高測量精度，文章對標準件標定、顯微光學系統的景深、對焦、光照亮度以及溫度等影響測量結果的誤差源作了細致的研究，給出了半導體芯片電路線寬顯微測量結果及精度分析。
      關鍵詞：半導體芯片，顯微測量，精度分析
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