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      電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>測試測量論文>力平衡式三軸微加速度計的設計與分析

      力平衡式三軸微加速度計的設計與分析

      2010-08-09 | rar | 507 | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      計了一種具有單一檢測質量的力平衡式三軸微加速度計．采用硅一硅鍵合工藝形成作為單一檢測質量
      塊的硅片組合，利用全差分電容檢測法實現對加速度三軸分量的檢測．通過提高檢測質量的重心，有效增加了x、y
      軸的靈敏度．利用ANSYS仿真軟件對該微加速度計進行了模態及靜力學分析，提出了優化設計參數．3個檢測模態
      (1階、2階和3階模態)的頻率分別為1．329 kHz、1．345 kHz和2．174 kHz．通過優化設計，提高了3階模態和4階
      模態的頻率差距，降低了其他高階模態的干擾．在1009(g為重力加速度)的z向加速度作用下，懸臂梁所受的最
      大應力為46 MPa，小于單晶硅的彎曲極限值70～200 MPa．靜力學分析表明，加速度計的懸臂梁結構參數能夠滿足
      加速度計的力學性能要求．
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