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      電子發燒友網>電子資料下載>電子論文>測試測量論文>應用再流動現象于自動組裝之3D光學微機電結構設計與測試

      應用再流動現象于自動組裝之3D光學微機電結構設計與測試

      2010-09-08 | rar | 3021 | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      本論文之目的在於BCB光阻材料以不同
      的製程參數於再流動的結果加以探討之外，並
      將其再流動之特性應用於三維光學鏡片的自
      動組裝過程。本文採用SOI晶片來避免繁雜的
      面加工製程，並用DRIE蝕刻機器來蝕刻出所要
      的結構圖案，並將光阻材料鋪在結構相關位置
      來當作絞鍊，再經由結構分離與光阻再流動等
      步驟後即完成三維光學鏡片自動組裝的製
      作。此外，亦設計將三維光學鏡片與致動器整
      合，擬製作出可旋轉式的三維自動組裝之微光
      學鏡片。
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