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各向異性又叫“非均質(zhì)性”，是指物體的物理、化學(xué)等性質(zhì)隨著測(cè)定方向而異的特性H1。硅在某些腐蝕溶液中，不同晶向的腐蝕速率不盡相同，這就是硅各向異性腐蝕的特點(diǎn)。硅各向異性腐蝕技術(shù)是微電子機(jī)械系統(tǒng)（ Micro-Electro-Mechanical System，MEMS）工藝的一項(xiàng)核心工藝，利用該技術(shù)可以在硅襯底上加工出各種復(fù)雜的三維結(jié)構(gòu)。硅各向異性腐蝕是制造微機(jī)械結(jié)構(gòu)的關(guān)鍵技術(shù)之一，利用該技術(shù)可以制造出微型傳感器和微執(zhí)行器等精密的三維結(jié)構(gòu)。
硅各向異性腐蝕過程復(fù)雜，采用元胞自動(dòng)機(jī)模擬硅各向異性腐蝕非常耗時(shí)。為了加速腐蝕模擬過程，研究了基于圖形處理器（ GPU）進(jìn)行硅的各向異性腐蝕模擬。針對(duì)串行算法直接并行化方法存在加速效率低等問題，提出了一個(gè)改進(jìn)的并行模擬方法。該方法增加了并行部分的負(fù)載，減少了內(nèi)存管理的開銷，從而提高了加速性能。實(shí)驗(yàn)證明該方法能夠獲得較理想的加速比。
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