資料介紹
VT6000系列共聚焦顯微鏡,在結(jié)構(gòu)復(fù)雜且反射率低的表面3D微觀形貌重構(gòu)與檢測(cè)方面具有不俗的表現(xiàn)。
一、結(jié)構(gòu)深、角度大
VT6000系列共聚焦顯微鏡基于針孔點(diǎn)光源的共軛共焦原理,其依托弱光信號(hào)解析算法可以完整重建出近70°陡峭的復(fù)雜的結(jié)構(gòu)形狀。
二、反射差、信號(hào)弱
VT6000系列共聚焦顯微鏡在此展現(xiàn)出其對(duì)弱光信號(hào)解析能力優(yōu)勢(shì),對(duì)樣件表面的低反射率特性適應(yīng)能力更強(qiáng)。
中圖儀器以其自主研發(fā)的共聚焦顯微鏡,與早前推出的白光干涉儀一起,構(gòu)成光學(xué)3D顯微測(cè)量領(lǐng)域的姊妹雙姝,為國(guó)內(nèi)超精密加工與微納制造領(lǐng)域提供專業(yè)的3D顯微形貌檢測(cè)方案。
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