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半導體技術

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半導體技術是指半導體加工的各種技術,包括晶圓的生長技術、薄膜沉積、光刻、蝕刻、摻雜技術和工藝整合等技術。

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半導體技術簡介

  納米技術有很多種,基本上可以分成兩類,一類是由下而上的方式或稱為自組裝的方式,另一類是由上而下所謂的微縮方式。前者以各種材料、化工等技術為主,后者則以半導體技術為主。以前我們都稱 IC 技術是「微電子」技術,那是因為晶體管的大小是在微米(10-6米)等級。但是半導體技術發展得非常快,每隔兩年就會進步一個世代,尺寸會縮小成原來的一半,這就是有名的摩爾定律(Moore’s Law)。

  大約在 15 年前,半導體開始進入次微米,即小于微米的時代,爾后更有深次微米,比微米小很多的時代。到了 2001 年,晶體管尺寸甚至已經小于 0.1 微米,也就是小于 100 納米。因此是納米電子時代,未來的 IC 大部分會由納米技術做成。但是為了達到納米的要求,半導體制程的改變須從基本步驟做起。每進步一個世代,制程步驟的要求都會變得更嚴格、更復雜。

半導體技術百科

  半導體技術是指半導體加工的各種技術,包括晶圓的生長技術、薄膜沉積、光刻、蝕刻、摻雜技術和工藝整合等技術。

  納米技術

  納米技術有很多種,基本上可以分成兩類,一類是由下而上的方式或稱為自組裝的方式,另一類是由上而下所謂的微縮方式。前者以各種材料、化工等技術為主,后者則以半導體技術為主。以前我們都稱 IC 技術是「微電子」技術,那是因為晶體管的大小是在微米(10-6米)等級。但是半導體技術發展得非常快,每隔兩年就會進步一個世代,尺寸會縮小成原來的一半,這就是有名的摩爾定律(Moore’s Law)。

  大約在 15 年前,半導體開始進入次微米,即小于微米的時代,爾后更有深次微米,比微米小很多的時代。到了 2001 年,晶體管尺寸甚至已經小于 0.1 微米,也就是小于 100 納米。因此是納米電子時代,未來的 IC 大部分會由納米技術做成。但是為了達到納米的要求,半導體制程的改變須從基本步驟做起。每進步一個世代,制程步驟的要求都會變得更嚴格、更復雜。

  貢獻

  隨著光刻工藝的發展,如今的芯片變得越來越小,硅晶片上也出現了極為精細的結構。原子力顯微鏡(AFM)可實現原子級的高分辨率表面測量,為半導體制造領域帶來了全新的檢測方法。壓電陶瓷驅動器憑借出眾的性能及可靠性為這些技術進步做出了貢獻。

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