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離子束

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離子束技術(shù)

聚焦離子束(FIB)技術(shù)的特點、優(yōu)勢以及應(yīng)用

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2024-11-21 標(biāo)簽:芯片fib離子束 155 0

深入解析離子束(FIB)技術(shù)在微納米加工領(lǐng)域的應(yīng)用

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集成電路制造中的先進(jìn)束流技術(shù)在集成電路的制造過程中,三種先進(jìn)的束流技術(shù)——電子束、光子束和離子束技術(shù),扮演著至關(guān)重要的角色。這些技術(shù)不僅推動了微電子器件...

2024-11-12 標(biāo)簽:集成電路fib離子束 234 0

制備透射電鏡及掃描透射電鏡樣品的詳細(xì)步驟

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聚焦FIB技術(shù):微納尺度加工的利器聚焦離子束(FIB)技術(shù)以其卓越的精確度在微觀加工領(lǐng)域占據(jù)重要地位,能夠?qū)崿F(xiàn)從微米級到納米級的精細(xì)加工。金鑒實驗室在這...

2024-11-11 標(biāo)簽:fib離子束電鏡 190 0

氬離子束拋光:EBSD樣品制備的高效策略

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EBSD技術(shù)的重要性電子背散射衍射(EBSD)技術(shù)是材料科學(xué)中用于揭示材料微觀結(jié)構(gòu)的關(guān)鍵工具。它詳細(xì)描述了材料在凝固、塑性變形、相變以及斷裂等物理過程中...

2024-11-08 標(biāo)簽:fib測試設(shè)備離子束 248 0

FIB技術(shù)在各領(lǐng)域的應(yīng)用及其運作機(jī)制解析

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雙束聚焦離子束(FIB)系統(tǒng)概述雙束聚焦離子束(FIB)系統(tǒng)是一種集成了單束聚焦離子束和掃描電子顯微鏡(SEM)功能的高精度微納加工技術(shù)。這種系統(tǒng)通過精...

2024-10-29 標(biāo)簽:顯微鏡fib離子束 242 0

鈮酸鋰 LiNbO3 薄膜 IBE 離子束刻蝕

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隨著基于鈮酸鋰 LN 的光源, 光調(diào)制, 光探測等重要器件的實現(xiàn), 鈮酸鋰 LN 光子集成芯片有望像硅基集成電路一樣, 成為高速率, 高容量, 低能耗光...

2024-09-13 標(biāo)簽:離子束刻蝕機(jī) 285 0

美國進(jìn)口 KRi 考夫曼離子源 KDC 160 硅片刻蝕清潔案例

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上海伯東美國 KRi 大尺寸考夫曼離子源 KDC 160 適用于 2-4英寸的硅片刻蝕和清潔應(yīng)用, KRi KDC 160 是直流柵網(wǎng)離子源, 高輸出離...

2024-09-13 標(biāo)簽:電流硅片離子束 215 0

一文解析離子注入的溝道效應(yīng)

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什么是溝道效應(yīng)? 溝道效應(yīng)是指在晶體材料中,注入的離子沿著晶體原子排列較為稀疏的方向穿透得比預(yù)期更深的現(xiàn)象。

2024-02-21 標(biāo)簽:晶體離子束 3320 0

半導(dǎo)體制造中FIB、SEM關(guān)鍵技術(shù)原理

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聚焦離子束(Focused Ion beam,F(xiàn)IB)是一種利用電透鏡將離子束聚焦成非常小尺寸的顯微切割儀器。 聚焦后作用于樣品表面。

2024-01-02 標(biāo)簽:原理圖半導(dǎo)體SEM 3109 0

一文詳解離子束工藝技術(shù)

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 二次離子質(zhì)譜(SIMS)是一種分析方法。具有高空間分辨率和高靈敏度的工具。它使用高度聚焦的離子束(通常是氧氣或(無機(jī)樣品用銫離子)“濺射”樣品表面上選...

2022-11-22 標(biāo)簽:離子束 1098 0

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離子束資訊

上海伯東IBE離子束刻蝕機(jī)優(yōu)勢

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上海伯東 IBE 離子束刻蝕機(jī)可用于反應(yīng)離子刻蝕 RIE 不能很好刻蝕的材料。是一種干法物理納米級別的刻蝕, 刻蝕均勻性 ≤±5%(部分材料 ±3%)。...

2024-11-27 標(biāo)簽:離子束刻蝕機(jī) 53 0

離子束刻蝕機(jī)物理量傳感器 MEMS 刻蝕應(yīng)用

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口離子束刻蝕機(jī) IBE 可以很好的解決傳感器 MEMS 的刻蝕難題, 射頻角度可以任意調(diào)整, 蝕刻可以根據(jù)需要做垂直, 斜面等等加工形狀, 刻蝕那些很...

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共讀好書 王剛 馮麗婷 李潮 黎恩良 鄭林挺 胡宏偉劉家儒 夏姍姍 武慧薇 (工業(yè)和信息化部電子第五研究所) 摘要: 首先,以具體微電子封裝失效機(jī)理和失...

2024-07-04 標(biāo)簽:失效分析離子束微電子封裝 339 0

離子注入機(jī)的簡易原理圖

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本文介紹了離子注入機(jī)的相關(guān)原理。 離子注入機(jī)的原理是什么?

2024-04-18 標(biāo)簽:離子束 1975 0

聚焦離子束顯微鏡(FIB-SEM)材料分析

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一、FIB設(shè)備型號:Zeiss Auriga Compact 聚焦離子束顯微鏡 (FIB-SEM) 聚焦離子束(FIB)與掃描電子顯微鏡(SEM)耦合成...

2021-11-06 標(biāo)簽:SEMfib離子束 3194 0

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離子束用于各種應(yīng)用場合,諸如,質(zhì)譜儀和離子注入機(jī)等。離子 束電流通常非常小(mA), 所以需要使用靜電計或皮安表來進(jìn)行測量。今天安泰測試為大家介紹如何使...

2021-09-10 標(biāo)簽:電壓測量離子束 738 0

電子束加工原理與主要加工裝置

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電子束加工(Electron Beam Machining 簡稱EBM)起源于德國。1948年德國科學(xué)家斯特格瓦發(fā)明了第一臺電子束加工設(shè)備。它是一種利用...

2021-03-10 標(biāo)簽:電子束鍍膜離子束 2.1萬 0

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離子源用以獲得離子束的裝置。在各類離子源中,用得最多的是等離子體離子源,即用電場將離子從一團(tuán)等離子體中引出來。這類離子源的主要參數(shù)由等離子體的密度、溫度...

2011-12-16 標(biāo)簽:電壓源離子束 1202 0

離子束加工原理

離子束加工原理

離子束加工原理和離子束加工的應(yīng)用范圍,離子束加工的特點。

2011-05-22 標(biāo)簽:加工原理離子束 1.8萬 0

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