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      標簽　>　NEMS

      NEMS

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      nems技術

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      現在微機電系統已經遠遠超越了“機”和“電”的概念, 將處理熱、光、磁、化學、生物等結構和器件通過微電子工藝及其他一些微加工工藝制造在芯片上, 并通過與...

      2018-05-03 標簽：cmosnems微機電系統 9572 0

      MEMS/NEMS結構基于模板的廣度相位解包裹方法

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      在對微/納機電系統(micro/nano electro me-chanical system，MEMS/NEMS)結構的特性參數進行測量和MEMS/N...

      2018-05-03 標簽：memsnems 1020 0

      采用標準的CMOS工藝和掩膜技術制造而成的NEMS傳感器

      采用標準的CMOS工藝和掩膜技術制造而成的NEMS傳感器

      據麥姆斯咨詢報道，NANUSENS的NEMS傳感器采用標準的CMOS工藝和掩膜技術制造而成。在NANUSENS的工藝中，使用HF蒸汽（vHF）通過鈍化層...

      2017-10-19 標簽：memsNEMS 7137 0

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      電子發燒友網報道（文/劉靜）MEMS傳感器主要是利用半導體制造工藝和材料，加工微型機械結構形成的傳感器和執行器，然后匹配控制電路和信號處理電路，來測量和...

      2024-05-20 標簽：mems封裝NEMS 1944 0

      哈佛大學巧妙運用“印刷電路+MEMS”工藝打造微型機器人

      受昆蟲生物學的啟發，哈佛大學的一個團隊正在突破其項目的極限，打造出有史以來最小、速度最快的微型機器人：

      2021-03-22 標簽：pcb機器人NEMS 1905 0

      中國大陸關于MEMS和NEMS的發展情況

      中國大陸關于MEMS和NEMS的發展情況

      　在MEMS/NEMS器件及系統方面，當前主要產品包括：壓力傳感器、慣性傳感器、聲學傳感器、地震檢波器、生物芯片、微流體芯片、微內窺鏡。

      2018-04-09 標簽：MEMSNEMS 1.5萬 0

      中國科學院院士在納米機電系統研究中取得系列進展

      記者近日從中國科技大學獲悉，中國科學院院士郭光燦領導的中科院量子信息重點實驗室在基于碳納米管的納米機電系統（NEMS）方面取得系列重要進展。該實驗室固態...

      2017-01-16 標簽：NEMS碳納米管 825 0

      NEMS或將引發半導體組件微型化的下一場戰爭

      NEMS或將引發半導體組件微型化的下一個戰爭 據新興芯片技術領域的專家表示，納米機電系統(nanoelectromechanical systems，...

      2009-12-15 標簽：傳感器NEMS 1273 0

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