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標簽 > euv光刻機
極紫外線光刻機是芯片生產工具,是生產大規模集成電路的核心設備,對芯片工藝有著決定性的影響。小于5納米的芯片晶圓,只能用EUV光刻機生產。2018年4月,中芯國際向阿斯麥下單了一臺EUV(極紫外線)光刻機,于2019年初交貨。
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據悉,下一代EUV光刻機必須要升級下一代的高NA(數值孔徑)標準,從現在的0.33 NA提升到0.55 NA,更高的NA意味著更分辨率更高,是3nm之后...
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