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　　MEMS壓力傳感器是一種薄膜元件，受到壓力時變形。可以利用應變儀（壓阻型感測）來測量這種形變，也可以通過電容感測兩個面之間距離的變化來加以測量。這兩種方法都很流行，輪胎壓力監測系統使用比較結實的壓阻方法。