微捷碼(Magma)設計自動化有限公司日前宣布推出一款完整的代工廠分析框架——Excalibur-Litho，支持先進光刻解決方案的開發和監控。Excalibur-Litho是首款集成了設計數據和缺陷、度量和工具歷史等半導體制造車間作業實時數據的系統，實現了無與倫比的數據分析、監控和流程控制水平。Excalibur-Litho通過專利聚合的基于設計的分級、電力交叉映射與代工廠范圍數據關聯技術，再結合與內嵌式光刻質檢解決方案，優化了良率的改進，實現了前所未有的缺陷隔離與根本原因分析。

　　“ Excalibur-Litho以經過驗證的代工廠分析框架為基礎，提供了對基于光刻的在線缺陷的全面檢查，”微捷碼Fab分析業務部總經理兼副總裁Ankush Oberai表示?！巴ㄟ^利用一款經驗證且已接入設計和代工廠數據的基礎設施，Excalibur-Litho可將數據轉化知識，加速了基于光刻的流程的改善速度?！?/p>

　　應用材料公司(Applied Materials Inc.)和微捷碼于2月XX日宣布攜手合作，將微捷碼基于CAD的導航和良率分析軟件(包括Excalibur-Litho)與應用材料公司的先進檢測系統集成在一起。這種設計與制造工具的獨特組合已為多家客戶的先進技術節點的開發和生產提供了加速的光刻質量檢驗和改善的芯片良率。

　　Excalibur-Litho：從數據到知識

　　Excalibur-Litho會采集并組織制造流程的各種數據，包括缺陷、度量、電力工具和制造執行系統(MES)數據。晶圓信息會被堆棧在一起，輕松地交叉映射到任一個版圖、電路原理圖或網表設計表征上，使得分析更為容易。

　　Excalibur-Litho基于微捷碼所開發的革命性開放架構數據庫而創建，實現了安全的CAD訪問和輕松的代工廠集成。這種開放架構還確保了與大多數檢測工具和良率分析數據庫的互操作性。