Aerotech 日前已推出在高達 160 x 160 毫米的行程提供納米級性能的線性雙軸工作臺。此款新型 ANT130-XY 工作臺可在兩維平面上行駛，具有 85 毫米的出色低斷面設計。由于每軸都具有高分辨率（1 nm）、高重復精度（75 nm）和高定位精度（250 nm），這些工作臺可以極高的定位穩定度和平穩的運動支持所有需要納米定位性能的應用。

　　ANT130-XY?? 工作臺設計用于范圍寬廣的研發和制造領域，包括數據存儲、 半導體、激光顯微機加工 、醫療、傳感器測試、檢查、材料沉積和 MEMS/納米技術設備的制造。

　　這些工作臺使用 Aerotech 的專屬先進直接驅動技術和交叉滾子軸承以達到最高水平的定位性能。 直接驅動技術沒有滯后與背隙，因此在 X 和 Y 方向都能夠產生準確和可重復的運動。所有行程選擇（60 mm x 60 mm, 110 mm x 110 mm, 160 mm x 160 mm）都具有 85 毫米高度。

　　ANT130-XY 設計可優化正交性、直線度和平直度等關鍵要素， 從而造成一個具有出色幾何公差的工作臺。 其整合纜線管理系統的設計可將拖曳力降低到最小。

　　此款新工作臺可與其它 Aerotech ANT 系列產品相結合 – 例如垂直提升工作臺、直接驅動旋轉平臺和角位臺 – 從而創建獨特的高性能多軸納米定位系統。

　照片圖解：

A. Aerotech 生產的雙軸納米工作臺 ANT130-XY 在高達 160 x 160 毫米的行程上提供高分辨率、高重復精度和高定位精度。
B. 用于材料沉積的三軸運動子系統（在花崗巖上）采用了高性能 ANT130-XY（在水平運動方向）。