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基于半導(dǎo)體氣敏元件法的報警儀

2009年11月23日 11:48 www.nxhydt.com 作者:佚名 用戶評論(0
基于半導(dǎo)體氣敏元件法的報警儀  
基于半導(dǎo)體氣敏元件法的報警儀(AlarmBasedon Gas Sensitive Semiconductor Device)
  氣體工業(yè)名詞術(shù)語。采用半導(dǎo)體氧化物作為氣敏元件,其電導(dǎo)率隨著接觸氣體濃度的變化呈線性關(guān)系,通過測量電導(dǎo)率就可以檢測出氣體的濃度,將信號放大并顯示報警。將半導(dǎo)體氧化物粉末涂在鉑絲上,鉑絲通電發(fā)熱提供一定溫度,同時提高了氣體檢測的靈敏度。該法對砷烷,磷烷,乙硼烷,硅烷的最低檢測濃度分別為012×10-6,013×10-6,011×10-6,015×10-6;響應(yīng)速度90%應(yīng)答10s。

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