濕敏元件分類:
濕敏元件主要分為二大類:水分子親和力型濕敏元件和非水分子親和力型濕敏元件。利用水分子有較大的偶極矩,易于附著并滲透入固體表面的特性制成的濕敏元件稱為水分子親和力型濕敏元件。例如,利用水分子附著或浸入某些物質(zhì)后,其電氣性能(電阻值、介電常數(shù)等)發(fā)生變化的特性可制成電阻式濕敏元件、電容式濕敏元件;利用水分子附著后引起材料長度變化,可制成尺寸變化式濕敏元件,如毛發(fā)濕度計。金屬氧化物是離子型結(jié)合物質(zhì),有較強的吸水性能,不僅有物理吸附,而且有化學吸附,可制成金屬氧化物濕敏元件。這類元件在應用時附著或浸入被測的水蒸氣分子,與材料發(fā)生化學反應生成氫氧化物,或一經(jīng)浸入就有一部分殘留在元件上而難以全部脫出,使重復使用時元件的特性不穩(wěn)定,測量時有較大的滯后誤差和較慢的反應速度。目前應用較多的均屬于這類濕敏元件。另一類非親和力型濕敏元件利用其與水分子接觸產(chǎn)生的物理效應來測量濕度。例如,利用熱力學方法測量的熱敏電阻式濕度傳感器,利用水蒸氣能吸收某波長段的紅外線的特性制成的紅外線吸收式濕度傳感器等。圖1是濕敏元件的分類。