晶圓電阻測試儀
獨特設計開發的高精度電阻率測量儀器。在半導體基板、導電薄膜基板等研發，檢驗檢查工序或制造生產線上的可以高精度地獲得和評估薄層電阻值和電
阻率值。
1）帶開關功能的智能面板，方便進行詳細設置，。
2）合理緊湊的設計，方便生產與使用。
3）滿足從低電阻到高電阻的寬范圍的測量。
4）測量因整流引起的誤差的電流極性切換 。
5）每次測量開始時會自動調零功能。
6）自動設置最佳電流的自動量程功能。
7）樣品厚度校正功能。
8）測量值平均值顯示和打印平均值計算功能。
9）半導體溫度補償功能
10）多種溫度修正系數輸入功能。
11）帶有打印數據用的界面。
12）帶數據傳輸接口。
