--- 產品參數 ---
- VGS 0 - ±30V(選配)
- GSS/IGE ≥10pA(選配)
- VDS 0-±300V/1200V2200V/3500V
- IDSS/ICES ≥10pA/1nA
- 源測精度 0.03%/0.1%
- 測試頻率 10Hz-1MHz
- 頻率輸出精確度 ±0.01%
- 基本準確度 ±0.05%
- AC測試信號準位 10mV至2Vrms (1m Vrms 解析度)
- DC測試信號準位 10mV至2V (1m Vrms 解析度)
- 輸出阻抗 100Ω
--- 產品詳情 ---
電容-電壓(C-V)測量廣泛用于測量半導體參數,尤其是MOS CAP和MOSFET結構。MOS(金屬-氧化物-半導體)結構的電容是外加電壓的函數,MOS電容隨外加電壓變化的曲線稱之為C-V曲線(簡稱C-V特性),C-V 曲線測試可以方便的確定二氧化硅層厚度dox、襯底摻雜濃度N、氧化層中可動電荷面密度Q1、和固定電荷面密度Qfc等參數。
● 頻率范圍寬:頻率范圍10Hz~1MHz連續頻率點可調
● 高精度、大動態范圍:提供0V~3500V偏壓范圍,精度0.1%
● 內置CV測試:內置自動化CV測試軟件,包含C-V(電容- 電壓),C-T(電容- 時間),C-F(電容 - 頻率)等多項測試測試功能
● 兼容IV測試:同時支持擊穿特性以及漏電流特性測試
● 實時曲線繪制:軟件界面直觀展示項目測試數據及曲線,便于監控
● 擴展性強:系統采用模塊化設計,可根據需求靈活搭配
軟件界面及功能
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