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有機材料熱蒸鍍設備 Organic material
有機金屬熱沉積系統是一種熱蒸發的方式, 用于將有機或金屬材料沉積到基板表面上. 該過程需要通過精確控制溫度和沉積速率來實現薄膜的高精度和均勻性.
為了達到此要求, 有機材料熱沉積系統使用高精準熱蒸發源作為加熱源, 并使用金屬, 石英, 陶瓷或PBN坩堝來容納有機材料以及PID控制器來控制其沉積速率. 該系統通常用于有機電子研究領域, 例如 OPV, OLED, OPD...
封裝系統: 上海伯東代理有機材料熱蒸鍍設備針對研究等級的實驗室, 推出玻璃對玻璃封裝的對位壓合機構. 整合涂膠系統 (UV或liquid gate) 和紫外光燈可安裝于手套箱或是獨立的一個壓合腔體內, 且可手動進行放片, 也可以透過自動傳片系統使用. 可撓式 OLED 必須輕薄且具有可撓曲性, 因此過往的玻璃材料并不適合用于此類的封裝, 必須采用薄膜封裝技術 (Thin-Film Encapsulation, TFE)或混和封裝技術, 針對薄膜封裝推出電漿輔助式化學氣相沉積, 原子層沉積和聚對二甲苯沉積等三種設備, 且使用低溫的沉積技術, 分別在OLED 上堆棧多層薄膜 (SiNX, SiOXNX, Al2O3, ZnO, Parylene) 并得到更好的保護層, 以減少水氧對于有機組件的影響, 從而提高OLED面板的壽命和性能.
配置和優點:
客制化的基板尺寸, 最大直徑為12寸晶圓或 470 x 370 mm2 (玻璃)
優異的薄膜均勻度小于±3%
用于有機材料的蒸發源（可用金屬、陶瓷、石墨或PBN坩堝）
鍍率自動控制: 最小值為 0.01?/s
蒸發源溫度控制可達到精度 ±0.1oC
具有順序操作或共沉積的多個蒸發源
用 CCD 對位將玻璃基板和屏蔽的位置對準在 ±5μm以內
每個蒸發源和基材均有安裝遮板, 百葉窗
金屬熱蒸鍍設備基本參數:
| 系統類型 | 超高真空 | 高真空 | 高真空緊湊型 |
| 腔室設計 | 鎳墊圈密封 | O型圈密封 | O型圈密封 |
| 極限真空 | 5X10-9 Torr | 3X10-7 Torr | 5X10-7 Torr |
| 腔室密封 | 一些密封圈 | 全部密封圈 | 全部密封圈 |
| Load-lock | 標準 | 標準 | 可選 |
| 蒸發源 | 舟型或坩堝 7-25 cc | 舟型或坩堝 7-25 cc | 舟型或坩堝 7-25 cc |
| 基板 | 4-8 英寸 加熱 / 水冷 | 4-8 英寸 加熱 / 水冷 | 2-4 英寸 加熱 / 水冷 |
| 真空泵 | 低溫泵 / 分子泵 冷阱設計 | 低溫泵 / 分子泵 冷阱設計 | 分子泵和油泵 |
| 監控 | 真空規 和 QCM | 真空規 和 QCM | 真空規 和 QCM |
| 工藝控制 | 速率控制 | 速率控制 | 速率控制 |
| 供氣 | 氮氣 | 氮氣 | 氮氣 |
| 手套箱連接 | 可選 | 可選 | 可選 |
腔體
由304不銹鋼所制成，通過外部焊接304不銹鋼管線對腔體進行水冷
寬大的前開式門, 并有兩個窗口和窗口遮版用于觀察基材和蒸發源
一個熱蒸發腔體內，最多可容納12組熱蒸發源
腔體的極限真空度約為 10-8 Torr
選件
可以與傳送腔, 機械手臂和手套箱整合在一起
殘留氣體分析儀
應用領域
有機發光二極管
有機光伏打電池
材料科學研究
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